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一种控制阀及真空吸取系统技术方案
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下载一种控制阀及真空吸取系统的技术资料
文档序号:39213447
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本实用新型公开一种控制阀及真空吸取系统。该控制阀包括主体阀以及位于主体阀两侧的第一先导阀与第二先导阀。主体阀设置与供气管路连通的进气口,以及与真空发生器连通的供气口;第一先导阀的无杆腔侧设置第一输入口与第一输出口,第二先导阀的第一腔侧设置第...
该专利属于SMC(中国)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过SMC(中国)有限公司授权不得商用。
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