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本实用新型涉及一种晶圆盒定位承载装置，包括机架、承载板、定位组件以及驱动组件，承载板用于承载晶圆盒，承载板的一侧与机架铰接以形成铰接点；定位组件设置于承载板上，定位组件用于对晶圆盒进行限位；驱动组件用于驱动承载板以铰接点为圆心转动，以通过承...
该专利属于环诚智能装备（成都）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过环诚智能装备（成都）有限公司授权不得商用。

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