温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种LED干法刻蚀机排气装置，包括工作台、加热除湿机构、过滤机构和净化机构；加热除湿机构包括长形盒、加热组件和送气组件，长形盒上设有第一进气口，气体经第一进气口和送气组件输送至过滤机构；过滤机构的一端与长形盒连接，其另一端与...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。