一种LED干法刻蚀机排气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种LED干法刻蚀机排气装置，包括工作台、加热除湿机构、过滤机构和净化机构；加热除湿机构包括长形盒、加热组件和送气组件，长形盒上设有第一进气口，气体经第一进气口和送气组件输送至过滤机构；过滤机构的一端与长形盒连接，其另一端与净化机构连接；净化机构包括净化盒体、净化组件和排气组件，净化盒体通过净化组件隔出至少两个独立空间，净化盒体上设有第二进气口，第二进气口和排气组件分别与不同独立空间连通。通过本申请，不仅实现了对气体的过滤和净化，以保证气体无害后排至外界大气中，避免对空气造成污染，还能够对装置进行加热除湿，改善该装置中各箱体内部容易发霉的问题，提高了装置的实用性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种LED干法刻蚀机排气装置


[0001]本技术涉及LED制备
，特别涉及一种LED干法刻蚀机排气装置。

技术介绍

[0002]干法刻蚀是用等离子体化学活性较强的性质进行薄膜刻蚀的技术，干法刻蚀分为三种：物理性刻蚀、化学性刻蚀、物理化学性刻蚀，在进行干法刻蚀的过程中，通常需要根据被刻蚀材料的不同，选择合适的气体与材料进行反应，实现刻蚀去除的目的，因此需要用上排气装置进行排气。
[0003]目前，现有的排气装置是由排气管、催化净化器、消声器、尾管等组成，进而一般在对刻蚀机排气装置使用时，大多数都是简单地将气体过滤然后进行排出，缺乏对气体均匀的排出和净化处理，容易将空气进行污染，不利于正常使用，并且气体中含有大量的湿气，长时间在箱体内部，容易导致箱体内部发霉，且降低了箱体的实用性。

技术实现思路

[0004]基于此，本技术的目的是提供一种LED干法刻蚀机排气装置，以解决现有技术中的不足。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了一种LED干法刻蚀机排气装置，包括工作台、设于所述工作台上且贯通设置的加热除湿机构、过滤本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，包括工作台、设于所述工作台上且贯通设置的加热除湿机构、过滤机构和净化机构；所述加热除湿机构包括长形盒、设于所述长形盒内的加热组件和送气组件，所述长形盒上设有第一进气口，所述第一进气口用于将气体通入所述长形盒内，所述长形盒内的气体经所述送气组件输送至所述过滤机构；所述过滤机构的一端与所述长形盒连接，其另一端与所述净化机构连接，所述过滤机构用于对所述气体进行过滤；所述净化机构包括净化盒体、设于所述净化盒体内的净化组件和排气组件，所述净化盒体通过所述净化组件隔出至少两个独立空间，所述净化盒体上设有第二进气口，所述第二进气口和所述排气组件分别与不同所述独立空间连通，以使过滤后的气体经所述净化组件净化后通过所述排气组件排出。2.根据权利要求1所述的LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，所述长形盒上连接有进气管道，所述进气管道通过所述第一进气口与所述长形盒的腔体连通。3.根据权利要求1所述的LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，所述加热组件包括加热带、设于所述加热带上的加热丝和加热板，所述加热带的一端经多次折弯延伸成型，所述加热丝和所述加热板用于提供热量，所述加热板与所述加热丝互不干涉。4.根据权利要求1所述的LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，所述送气组件包括电动伸缩杆和推板，所述电动伸缩杆的一端与所述推板连接，所述推板通过滑动...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘德林，徐吉红，段良飞，胡瑶，董国庆，文国昇，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：