一种LED干法刻蚀机排气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种LED干法刻蚀机排气装置，包括工作台、加热除湿机构、过滤机构和净化机构；加热除湿机构包括长形盒、加热组件和送气组件，长形盒上设有第一进气口，气体经第一进气口和送气组件输送至过滤机构；过滤机构的一端与长形盒连接，其另一端与净化机构连接；净化机构包括净化盒体、净化组件和排气组件，净化盒体通过净化组件隔出至少两个独立空间，净化盒体上设有第二进气口，第二进气口和排气组件分别与不同独立空间连通。通过本申请，不仅实现了对气体的过滤和净化，以保证气体无害后排至外界大气中，避免对空气造成污染，还能够对装置进行加热除湿，改善该装置中各箱体内部容易发霉的问题，提高了装置的实用性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种LED干法刻蚀机排气装置


[0001]本技术涉及LED制备
，特别涉及一种LED干法刻蚀机排气装置。

技术介绍

[0002]干法刻蚀是用等离子体化学活性较强的性质进行薄膜刻蚀的技术，干法刻蚀分为三种：物理性刻蚀、化学性刻蚀、物理化学性刻蚀，在进行干法刻蚀的过程中，通常需要根据被刻蚀材料的不同，选择合适的气体与材料进行反应，实现刻蚀去除的目的，因此需要用上排气装置进行排气。
[0003]目前，现有的排气装置是由排气管、催化净化器、消声器、尾管等组成，进而一般在对刻蚀机排气装置使用时，大多数都是简单地将气体过滤然后进行排出，缺乏对气体均匀的排出和净化处理，容易将空气进行污染，不利于正常使用，并且气体中含有大量的湿气，长时间在箱体内部，容易导致箱体内部发霉，且降低了箱体的实用性。

技术实现思路

[0004]基于此，本技术的目的是提供一种LED干法刻蚀机排气装置，以解决现有技术中的不足。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了一种LED干法刻蚀机排气装置，包括工作台、设于所述工作台上且贯通设置的加热除湿机构、过滤机构和净化机构；
[0006]所述加热除湿机构包括长形盒、设于所述长形盒内的加热组件和送气组件，所述长形盒上设有第一进气口，所述第一进气口用于将气体通入所述长形盒内，所述长形盒内的气体经所述送气组件输送至所述过滤机构；
[0007]所述过滤机构的一端与所述长形盒连接，其另一端与所述净化机构连接，所述过滤机构用于对所述气体进行过滤；
[0008]所述净化机构包括净化盒体、设于所述净化盒体内的净化组件和排气组件，所述净化盒体通过所述净化组件隔出至少两个独立空间，所述净化盒体上设有第二进气口，所述第二进气口和所述排气组件分别与不同所述独立空间连通，以使过滤后的气体经所述净化组件净化后通过所述排气组件排出。
[0009]本技术的有益效果是：通过第一进气口流入气体，利用送气组件将气体输送至过滤机构，以使气体依次经过过滤机构和净化组件，实现对气体的过滤和净化，以保证气体无害后通过排气组件排至外界大气中，避免对空气造成污染，同时利用加热组件提供热量，通过送气组件和排气组件的配合使用，还能够将热量依次经过长形盒、过滤机构和净化盒体，以进行加热除湿，改善该装置中各箱体内部容易发霉的问题，延长箱体使用寿命，提高箱体实用性。
[0010]优选的，所述长形盒上连接有进气管道，所述进气管道通过所述第一进气口与所述长形盒的腔体连通。
[0011]优选的，所述加热组件包括加热带、设于所述加热带上的加热丝和加热板，所述加
热带的一端经多次折弯延伸成型，所述加热丝和所述加热板用于提供热量，所述加热板与所述加热丝互不干涉。
[0012]优选的，所述送气组件包括电动伸缩杆和推板，所述电动伸缩杆的一端与所述推板连接，所述推板通过滑动结构与所述长形盒的内壁滑动连接，所述电动伸缩杆用于推动所述推板朝向或远离所述过滤机构移动。
[0013]优选的，所述滑动结构包括开设于所述长形盒内壁的滑槽和滑动连接于所述滑槽内的滑块，所述滑块与所述推板连接。
[0014]优选的，所述过滤机构包括Z形软管和设于所述Z形软管上的复合滤网，所述长形盒的腔体通过所述Z形软管与所述净化盒体中的其一所述独立空间连通，所述复合滤网用于对流经所述Z形软管中的气体进行过滤。
[0015]优选的，所述Z形软管上设有电动阀，所述气体依次通过所述复合滤网、所述电动阀和所述第二进气口后流向所述独立空间内。
[0016]优选的，所述净化组件包括触媒滤网，所述触媒滤网与所述净化盒体的内壁可拆卸连接。
[0017]优选的，所述排气组件包括伺服电机、传动结构和多个风叶，所述伺服电机与所述净化盒体的底部连接，所述伺服电机通过所述传动结构与多个所述风叶连接，所述伺服电机用于带动多个所述风叶进行同步转动。
[0018]优选的，所述工作台上设有四个万向轮，四个所述万向轮分别位于所述工作台的底面的四个拐角处。
[0019]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0020]图1为本技术实施例提供的LED干法刻蚀机排气装置的结构示意图；
[0021]图2为本技术实施例提供的加热除湿机构的爆炸示意图；
[0022]图3为本技术实施例提供的过滤机构和净化机构的爆炸示意图。
[0023]主要元件符号说明：
[0024]1、工作台；2、控制器；3、U形支撑板；4、进气管道；6、推杆；7、长形盒；8、Z形软管；9、万向轮；10、滑槽；11、加热带；12、加热丝；13、电动伸缩杆；14、滑块；15、推板；16、加热板；17、电动阀；18、伺服电机；19、皮带轮；21、风叶；22、净化盒体；23、圆形孔洞；24、复合滤网；25、传送带；26、触媒滤网。
[0025]如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。
具体实施方式
[0026]为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的若干实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。
[0027]需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上
或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0028]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0029]请参阅图1至图3，为本技术实施例中的LED干法刻蚀排气装置，包括工作台1、加热除湿机构、过滤机构和净化机构。
[0030]其中：加热除湿机构、过滤机构和净化机构皆位于工作台1上，加热除湿机构包括长形盒7、设于长形盒7内的加热组件和送气组件，长形盒7上设有第一进气口，第一进气口与长形盒7的腔体连通，可以理解的，长形盒7上连接有进气管道4，进气管道4通过第一进气口与长形盒7的腔体连通，待处理气体依次经过进气管道4和第一进气口输送至长形盒7体内，然后利用送气组件将代处理器推送至过滤机构中，可以理解的，加热组件用于提供热量，热量也可以随着送气组件输送至过滤机构和净化机构中，具体为，当需要对LED干法刻蚀排气装置进行除湿处理时，通过加热组件提供热量，利用送气组件将热量输送至过滤机构和净化机构中，以实现加热除湿效果。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，包括工作台、设于所述工作台上且贯通设置的加热除湿机构、过滤机构和净化机构；所述加热除湿机构包括长形盒、设于所述长形盒内的加热组件和送气组件，所述长形盒上设有第一进气口，所述第一进气口用于将气体通入所述长形盒内，所述长形盒内的气体经所述送气组件输送至所述过滤机构；所述过滤机构的一端与所述长形盒连接，其另一端与所述净化机构连接，所述过滤机构用于对所述气体进行过滤；所述净化机构包括净化盒体、设于所述净化盒体内的净化组件和排气组件，所述净化盒体通过所述净化组件隔出至少两个独立空间，所述净化盒体上设有第二进气口，所述第二进气口和所述排气组件分别与不同所述独立空间连通，以使过滤后的气体经所述净化组件净化后通过所述排气组件排出。2.根据权利要求1所述的LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，所述长形盒上连接有进气管道，所述进气管道通过所述第一进气口与所述长形盒的腔体连通。3.根据权利要求1所述的LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，所述加热组件包括加热带、设于所述加热带上的加热丝和加热板，所述加热带的一端经多次折弯延伸成型，所述加热丝和所述加热板用于提供热量，所述加热板与所述加热丝互不干涉。4.根据权利要求1所述的LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，所述送气组件包括电动伸缩杆和推板，所述电动伸缩杆的一端与所述推板连接，所述推板通过滑动...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘德林，徐吉红，段良飞，胡瑶，董国庆，文国昇，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：