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本实用新型公开了一种多孔硅晶圆匀胶夹具，包括：固定板，固定板截面为圆形，用以放置硅片；固定板上安装有多个凸块，用以填充硅片上的通孔；固定板上设置有多个镂空结构，镂空结构连接外部抽真空设备，将硅片与固定板之间抽真空，用以固定硅片；凸块的横截面...
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