下载一种MoCVD系统磁流体密封装置的技术资料

文档序号:39172877

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种MoCVD系统磁流体密封装置,包括内筒,所述内筒的外部设置有外筒,所述外筒的外壁贯穿设置有进水管,所述进水管的底部设置有储水腔,所述储水腔的内部设置有冷却机构,所述冷却机构包括有电机,所述外筒的一端固定连接有电机的一端,...
该专利属于杭州铂利雅精密机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州铂利雅精密机械有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。