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本实用新型公开的一种用于晶圆上下料的防尘装置及其晶圆除胶设备，用于晶圆上下料过程中的正压气流防尘，包括用于控制晶圆自动上下料的机械手和至少一个承托晶圆转运的承托盘，机械手和承托盘分别设置于晶圆上下料口处，晶圆上下料口处设置有一半封闭状对机械...
该专利属于珠海恒格微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海恒格微电子装备有限公司授权不得商用。

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