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本发明涉及极紫外光刻技术领域，具体提供一种应用于极紫外光刻光源的CO2激光功率稳定方法及装置，激光放大器在重复频率放电激励条件下，由于上能级气体分子弛豫无辐射跃迁，在一个脉冲周期内，停止放电激励后CO2激光增益将逐渐降低，所以利用与种子激光...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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