下载外延片结构、外延功能器件及制备方法的技术资料

文档序号:39158151

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本发明公开了一种外延片结构、外延功能器件及制备方法,该外延片结构用于键合至设置有多个驱动单元的驱动衬底上,外延片结构包括:承载衬底、功能单元和占位单元;功能单元和占位单元设置于承载衬底上,且功能单元键合于承载衬底,功能单元在承载衬底上的位置...
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