下载一种陶瓷薄膜雾化芯制备方法的技术资料

文档序号:39157401

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本发明公开了一种陶瓷薄膜雾化芯制备方法,涉及电子雾化技术领域。本发明的陶瓷薄膜雾化芯制备方法包括以下步骤:在多孔陶瓷基体上通过磁控溅射形成发热膜层;在发热膜层上通过磁控溅射形成厚度为20
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