下载一种用于铜电镀工艺的透明导电靶材及薄膜线路的制备方法的技术资料

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本申请涉及一种用于铜电镀工艺的透明导电靶材及薄膜线路的制备方法,包括通过注浆成型加中高温烧结的方式制作氧化铟锡、氧化铟锌或是氧化铟锡锌靶材以及对应的含银氧化铟锡、含银氧化铟锌或是含银氧化铟锡锌靶材,借由添加氧化银粉末或是纯银粉末降低烧结温度...
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