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一种层距可调的晶圆存储设备，包括骨架单元、动力驱动单元、链接单元以及晶圆承载单元；骨架单元包括底板、两个高度调节块和左右层间滑动支撑轴；晶圆承载单元包括N个晶圆承载台，每一个晶圆承载台包括一对相对对称平行设置的左右插槽SLOT，用于将一片晶...
该专利属于上海广川科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海广川科技有限公司授权不得商用。

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