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本实用新型公开了一种晶圆干燥装置，包括：干燥箱体，盛装有清洗液；至少两个支撑机构，用于承托晶圆并驱动其在干燥箱体内上升至清洗液液面以下；抬升机构，设于晶圆底部，用于承托晶圆并驱动其脱离液面；支撑机构和抬升机构交替接触晶圆并驱动其上升。本实用...
该专利属于杭州众硅电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州众硅电子科技有限公司授权不得商用。

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