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氦纯化方法技术
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文档序号:3914747
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揭示了用于纯化氦气的方法和系统。使含杂质的氦通过油/油脂滤器;多层分子筛/硅胶装置;活性炭/活性炭纤维床;金属吸气剂;和微粒过滤器,以实现最高达99.999%的氦纯度。...
该专利属于琳德股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过琳德股份公司授权不得商用。
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