下载一种集成位置监测系统的旋转式MEMS加密微安保芯片的技术资料

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本发明涉及安保芯片领域,提供了一种集成位置监测系统的旋转式MEMS加密微安保芯片。主旨在于实现对长期服役的芯片对微摩擦引起的衰退进行监测与自适应补偿,缓解因摩擦对器件的性能产生负面影响的问题。主要方案包括盖板层和安保装置层,盖板层的圆形观察...
该专利属于电子科技大学长三角研究院(湖州)所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学长三角研究院(湖州)授权不得商用。

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