一种集成位置监测系统的旋转式MEMS加密微安保芯片技术方案

本发明专利技术涉及安保芯片领域，提供了一种集成位置监测系统的旋转式MEMS加密微安保芯片。主旨在于实现对长期服役的芯片对微摩擦引起的衰退进行监测与自适应补偿，缓解因摩擦对器件的性能产生负面影响的问题。主要方案包括盖板层和安保装置层,盖板层的圆形观察窗与安保装置层的中断圆盘位于芯片的中央。传感器模块由中断圆盘组成的安保隔断作为容栅式位移传感器的动栅，一对静栅呈180

【技术实现步骤摘要】
一种集成位置监测系统的旋转式MEMS加密微安保芯片


[0001]本专利技术涉及安保芯片领域，提供了一种集成位置监测系统的旋转式MEMS加密微安保芯片。

技术介绍

[0002]安保系统在目前得到了快速发展，小型化低成本的安保系统的设计研究也在不断进行。安保芯片主要用于安全加密和保护系统的安全性，还能用于控制访问和权限控制等，在商业、军事和政府领域，安全性别具高度重要性。为了防止芯片被盗、被篡改或遭到未授权的访问等风险，需要采取多层次、多种类别的加密保护措施。这样的安保芯片所构成的安保装置也同样是微型智能安全起爆系统的重要组成部分，任何逻辑装置都可能存在潜在的安全隐患，而MEMS技术将传统传感器的机械部件微型化后，在硅晶圆上以IC工艺制备。为了保证传爆序列的安全以及起爆装置的稳定性，需要确保安保芯片的正常运行，目前现有MEMS技术的微安保芯片采用超薄扁平化芯片嵌入设计的技术，并广泛应用于各种安全设备中，无法使用常规手段来监测起爆系统内部安保装置芯片的运行状态，检测其是否发生非正常位移和旋转。
[0003]受武器系统微型化智能化的发展需求和目本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成位置监测系统的旋转式MEMS加密微安保芯片，其特征在于，包括盖板层(100)和安保装置层(200)，二者通过涂胶的方式黏贴在一起,装配完成后,盖板层(100)的圆形观察窗(103)与安保装置层(200)的中断圆盘(206)位于芯片的中央；所述的盖板层(100)整体结构呈轴对称布局,包括圆形观察窗(103)，圆形观察窗(103)位于盖板层(100)的中央位置，沿盖板层(100)长度方向有绝热槽(102)与绝热槽(105)，沿盖板层宽度方向有绝热槽(101)与绝热槽(104)。所述的安保装置层(200)整体结构呈轴对称布局,安保装置层(200)的中央设有中断圆盘(206)，四周对称设有驱动单元和离合单元；驱动单元和离合单元的微杠杆通过棘爪与中断圆盘(206)上的齿相啮合，在正确的电压序列驱动下可使得中断圆盘(206)在基底上旋转，输入信号满足每个齿的驱动要求，则中断圆盘(206)绕轴连续旋转，在错误或非法入侵下则会自锁，并且中断圆盘(206)上的硅齿具有独特序列，正常齿的厚度为35μ...

【专利技术属性】
技术研发人员：房旷，杨鹏，徐尚龙，戴亚龙，
申请(专利权)人：电子科技大学长三角研究院湖州，
类型：发明
国别省市：