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本公开提供一种石英舟、石英舟组件及扩散炉，石英舟包括进气端侧壁和出气端侧壁，进气端侧壁和出气端侧壁上设有多个气体流通孔。本公开能够减少或避免在石英舟侧壁附近形成紊乱气流，可以改善气流的均匀性及稳定性，从而提升扩散掺杂的均匀性及稳定性，并且本...
该专利属于河北光兴半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北光兴半导体技术有限公司授权不得商用。

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