下载高效合成高质量碳化硅的装置及方法的技术资料

文档序号:39138230

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本发明提供了一种高效合成高质量碳化硅的装置及方法,该高效合成高质量碳化硅的装置包括装置本体和石墨盖板,所述装置本体具有顶端敞口的容纳腔,所述容纳腔内沿其高度方向由底部到顶端依次设有第一过滤板和第二过滤板,并通过所述第一过滤板和所述第二过滤板...
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