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一种具有新型场板结构的增强型氮化镓功率器件制造技术
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下载一种具有新型场板结构的增强型氮化镓功率器件的技术资料
文档序号:39135065
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本实用新型涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种具有新型场板结构的增强型氮化镓功率器件,包括衬底层、成核层、缓冲层和势垒层,衬底层、成核层、缓冲层和势垒层从下至上依次设置;势垒层的上部分别设置有源极、栅极和漏极,在栅极的上方设置有场板,场板...
该专利属于深圳氮芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳氮芯科技有限公司授权不得商用。
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