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本实用新型旨在提供一种整体结构紧凑，兼容性较好、有效吸附粉尘的晶圆覆膜清洗装置。本实用新型包括升降模组、旋转模组、真空模组以及喷覆模组，所述升降模组的动作端与所述真空模组的底部连接，所述旋转模组的输出轴与所述真空模组的底部传动连接，所述喷覆...
该专利属于珠海市申科谱工业科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海市申科谱工业科技有限公司授权不得商用。

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