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文档序号:39133086

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本发明提供一种半导体装置,其具备:多个沟槽部,其设置于半导体基板;台面部,其在所述半导体基板,设置于所述多个沟槽部之间;以及正面金属层,其设置于所述半导体基板的上方,所述多个沟槽部具有:栅极沟槽部,其具有栅极导电部和栅极绝缘膜;以及虚设沟槽...
该专利属于富士电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士电机株式会社授权不得商用。

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