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本申请提供一种晶圆检测系统。该晶圆检测系统包括：一存储器单元，经配置以存储一晶圆上一被测元件(DUT)的一影像；一影像载入单元，经配置以将该影像上传到一处理单元；以及一处理单元，经配置以识别该影像上的多个候选区域。该处理单元亦经配置以为该多...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。

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