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描述了一种用于分析器布置(100)的照射控制装置(7)。分析器布置被配置为确定与从样品(3)发射的带电粒子相关的至少一个参数。照射控制装置(7)包括用于输入电磁辐射(Ri)的输入部(8)，并且被配置为控制样品(3)的照射以诱发从样品(3)发...
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