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本申请涉及真空镀膜技术领域，具体公开了一种匀气装置，包括：进料管、第一加热器、匀气板、壳体与第二加热器；所述壳体内部设置有真空腔；所述进料管的出料端连通所述匀气板的进气端；所述匀气板的出气端连通所述真空腔；所述第一加热器抵接所述进料管，用于...
该专利属于江苏先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏先导微电子科技有限公司授权不得商用。

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