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一种芯片键合对准装置及形成方法、晶圆键合结构及形成方法，其中，形成方法包括：提供复数个相互分立的芯片结构；提供一目标晶圆；提供第一平行横梁；在所述第一平行横梁的一端设置一第一互对准单元，在所述第一平行横梁另一端设置一对准吸附单元；提供第二平...
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