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补偿显微镜系统中的干涉。本发明涉及用于补偿带电粒子束显微镜系统中的干涉的方法和系统。可以实现在采样持续时间内捕获从样本的辐照获得的数据的步骤。在该系统中，提供了用于捕获和/或存储该数据的相应数据存储装置。可以实现将采样持续时间的至少代表性部...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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