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本实用新型属于刻蚀技术领域，具体为一种紫外光刻胶刻蚀装置，包括：机体，所述机体为柜体状，所述机体的中部设置隔板，隔板将机体上下侧分隔为操控空间和电控室；承载台，所述承载台置于操控空间的内部下侧；驱动机构，所述驱动机构安装在操控空间的内壁上，...
该专利属于上海帕吉索纳米技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海帕吉索纳米技术有限公司授权不得商用。

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