本实用新型专利技术属于刻蚀技术领域，具体为一种紫外光刻胶刻蚀装置，包括：机体，所述机体为柜体状，所述机体的中部设置隔板，隔板将机体上下侧分隔为操控空间和电控室；承载台，所述承载台置于操控空间的内部下侧；驱动机构，所述驱动机构安装在操控空间的内壁上，且驱动机构上安装有紫外光发生设备，所述紫外光发生设备位于承载台的上侧；所述操控空间内上侧设置有空气净化系统。通过空气净化系统的设置，在刻蚀操作的同时，对操控空间抽吸净化空气，避免空气内含有过多的烟尘而影响被刻蚀产品的质量。量。量。
【技术实现步骤摘要】
一种紫外光刻胶刻蚀装置
[0001]本技术涉及刻蚀
，具体为一种紫外光刻胶刻蚀装置。
技术介绍
[0002]刻蚀是与光刻相联系的图形化(pattern)处理的一种主要工艺。所谓刻蚀，实际上狭义理解就是光刻腐蚀，先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。刻蚀是用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程，其基本目标是在涂胶的硅片上正确地复制掩模图形。
[0003]对于一些产品的刻蚀时，会产生一些刻蚀胶碎屑、烟尘等物质，若不清理，其会落在产品上，影响产品的刻蚀和整体质量。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种紫外光刻胶刻蚀装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种紫外光刻胶刻蚀装置，包括：
[0006]机体，所述机体为柜体状，所述机体的中部设置隔板，隔板将机体上下侧分隔为操控空间和电控室；
[0007]承载台，所述承载台置于操控空间的内部下侧；
[0008]驱动机构，所述驱动机构安装在操控空间的内壁上，且驱动机构上安装有紫外光发生设备，所述紫外光发生设备位于承载台的上侧；
[0009]所述操控空间内上侧设置有空气净化系统。
[0010]进一步地，所述操控空间的前部通过合页转动连接有开合门。
[0011]进一步地，所述驱动机构包括连接在操控空间的内壁上的第一伺服滑台，所述第一伺服滑台的滑鞍下侧连接有第二伺服滑台，所述第一伺服滑台的移动方向与第二伺服滑台的移动方向垂直，所述紫外光发生设备安装在第二伺服滑台的滑鞍下侧。
[0012]进一步地，所述承载台的下表面设置有支架，所述承载台通过支架与操控空间的内部底端连接。
[0013]进一步地，所述承载台的上表面设置有夹持机构。
[0014]进一步地，所述空气净化系统包括设置在操控空间的内部上侧抽吸管，所述抽吸管的管路上设置有抽吸风机，所述抽吸管的一端连接有吸尘罩，所述吸尘罩位于驱动机构的上侧，所述抽吸管的另一端延伸至机体的外部。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0016]通过空气净化系统的设置，在刻蚀操作的同时，对操控空间抽吸净化空气，避免空气内含有过多的烟尘而影响被刻蚀产品的质量。
附图说明
[0017]图1为本技术结构示意图；
[0018]图2为本技术机体的内部结构示意图。
[0019]图中：1机体、2操控空间、3开合门、4承载台、5夹持机构、6第一伺服滑台、7第二伺服滑台、8紫外光发生设备、9抽吸管、10抽吸风机、11吸尘罩。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0022]实施例：
[0023]请参阅图1
‑
2，本技术提供一种技术方案：一种紫外光刻胶刻蚀装置，包括：
[0024]机体1，所述机体1为柜体状，所述机体1的中部设置隔板，隔板将机体1上下侧分隔为操控空间2和电控室；
[0025]承载台4，所述承载台4置于操控空间2的内部下侧；
[0026]驱动机构，所述驱动机构安装在操控空间2的内壁上，且驱动机构上安装有紫外光发生设备8，所述紫外光发生设备8位于承载台4的上侧；
[0027]所述操控空间2内上侧设置有空气净化系统。
[0028]优选的，所述操控空间2的前部通过合页转动连接有开合门3。开合门3将操控空间2内部与外侧空间隔离开。
[0029]优选的，所述驱动机构包括连接在操控空间2的内壁上的第一伺服滑台6，所述第一伺服滑台6的滑鞍下侧连接有第二伺服滑台7，所述第一伺服滑台6的移动方向与第二伺服滑台7的移动方向垂直，所述紫外光发生设备8安装在第二伺服滑台7的滑鞍下侧。通过两个方向的伺服驱动，能够对紫外光发生设备8在平面内准确驱动位置。
[0030]优选的，所述承载台4的下表面设置有支架，所述承载台4通过支架与操控空间2的内部底端连接。通过支架的设置，将承载台4整体抬高，避免与下侧的灰尘接触。
[0031]优选的，所述承载台4的上表面设置有夹持机构5。夹持机构5对被加工产品夹持限定。
[0032]优选的，所述空气净化系统包括设置在操控空间2的内部上侧抽吸管9，所述抽吸管9的管路上设置有抽吸风机10，所述抽吸管9的一端连接有吸尘罩11，所述吸尘罩11位于驱动机构的上侧，所述抽吸管9的另一端延伸至机体1的外部。
[0033]工作原理：将被加工产品置于夹持机构5上，通过夹持机构5对其夹持定位。
[0034]将开合门3关闭，通过内置预设的驱动程序对设备驱动。
[0035]通过第一伺服滑台6、第二伺服滑台7的配合作用，将紫外光发生设备8横向和前后
驱动移动，使得紫外光发生设备8能够对被加工产品表面进行发射紫外线，通过紫外线对被加工产品表面加热刻蚀。
[0036]抽吸风机10开启，通过抽吸管9将操控空间2内部空气抽出并输出至外部，刻蚀过程产生的烟气均被吸附输出至外部。
[0037]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点,对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术；因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0038]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种紫外光刻胶刻蚀装置，其特征在于，包括：机体(1)，所述机体(1)为柜体状，所述机体(1)的中部设置隔板，隔板将机体(1)上下侧分隔为操控空间(2)和电控室；承载台(4)，所述承载台(4)置于操控空间(2)的内部下侧；驱动机构，所述驱动机构安装在操控空间(2)的内壁上，且驱动机构上安装有紫外光发生设备(8)，所述紫外光发生设备(8)位于承载台(4)的上侧；所述操控空间(2)内上侧设置有空气净化系统。2.根据权利要求1所述的一种紫外光刻胶刻蚀装置，其特征在于：所述操控空间(2)的前部通过合页转动连接有开合门(3)。3.根据权利要求1所述的一种紫外光刻胶刻蚀装置，其特征在于：所述驱动机构包括连接在操控空间(2)的内壁上的第一伺服滑台(6)，所述第一伺服滑台(6)的滑鞍下侧连接有第二伺服滑台(7...
【专利技术属性】
技术研发人员：李正茂，闫石，
申请(专利权)人：上海帕吉索纳米技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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