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本实用新型提供了一种MEMS扬声器，所述MEMS扬声器仅包括围成腔体的衬底、叠设于所述衬底上方且盖设所述腔体的压电振膜、以及覆盖于所述压电振膜上的柔性结构层，所述压电振膜、所述柔性结构层均为完整的片状结构，所述柔性结构层的杨氏模量小于所述压...
该专利属于瑞声开泰科技（武汉）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声开泰科技（武汉）有限公司授权不得商用。

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