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本实用新型涉及废气处理技术领域，公开一种半导体废气除湿装置及半导体废气处理设备，其中，半导体废气除湿装置包括变径水洗塔和除湿冷凝塔；变径水洗塔设有进气端和出气端，变径水洗塔的至少部分区域的横截面积设置成由进气端向出气端逐渐减小。废气经过初步...
该专利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术股份有限公司授权不得商用。

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