半导体废气除湿装置及半导体废气处理设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及废气处理技术领域，公开一种半导体废气除湿装置及半导体废气处理设备，其中，半导体废气除湿装置包括变径水洗塔和除湿冷凝塔；变径水洗塔设有进气端和出气端，变径水洗塔的至少部分区域的横截面积设置成由进气端向出气端逐渐减小。废气经过初步降温处理后的气流由进气端进入到变径水洗塔内部，由于变径水洗塔的内径尺寸设置成由进气端向出气端逐渐收缩，气流被压缩，从而使得气流的流速增快，增速后的气流与位于出气端的第二冷凝喷头所喷洒出的冷却水流对冲混合，增强了气流与冷却水流的接触面积，从而增强了冷却水流对气流中水汽的冷凝效果；尽可能让废气呈较干燥的状态排入厂务酸排管路端，提高设备的运行稳定性。定性。定性。

【技术实现步骤摘要】
半导体废气除湿装置及半导体废气处理设备


[0001]本技术涉及废气处理
，尤其涉及半导体废气除湿装置及半导体废气处理设备。

技术介绍

[0002]半导体制造工艺中的易燃易爆有毒的制程废气，类别大概有：有机废气和含有酸性/碱性物质的废气等，一般通过高温燃烧的方法进行降害化处理。高温燃烧后进行水洗处理，水洗处理后排出的气体中会含有大量水汽，如果这些水汽长时间在厂务排气管路端积累，大量的积液会影响排气管路端的负压，也会有酸排管路漏液等安全风险，严重者甚至会造成酸排管路损坏，危害现场工作人员的工作安全。但现有的半导体废气处理设备存在着除湿效果不佳的问题，影响了生产设备的运行稳定性。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决相关技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种半导体废气除湿装置，尽可能让废气呈较干燥的状态排入厂务酸排管路端，避免了在厂务端酸排管路形成堵塞，提高设备的运行稳定性。
[0004]根据本技术第一方面实施例的半导体废气除湿装置，其包括变径水洗塔和除湿冷凝塔；变径水洗塔设有进气端和出气端，变径水洗塔的至少本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.半导体废气除湿装置，其特征在于，包括：变径水洗塔和除湿冷凝塔；所述变径水洗塔设有进气端和出气端，所述变径水洗塔的至少部分区域的横截面积设置成由所述进气端向所述出气端逐渐减小，所述变径水洗塔内设置第二冷凝喷头；所述除湿冷凝塔包括筒体和位于所述筒体内的冷却器，所述冷却器设有冷水进口和冷水出口，所述筒体设有相连通的废气出口和废气进口，所述废气进口与所述变径水洗塔的出气端连通。2.根据权利要求1所述的半导体废气除湿装置，其特征在于，所述冷却器包括冷水储存管和多个冷凝水管，所述冷水储存管设置有所述冷水进口和所述冷水出口，所述冷凝水管的进水端和出水端均与所述冷水储存管连通，在所述冷水储存管的高度方向分布多个所述冷凝水管。3.根据权利要求2所述的半导体废气除湿装置，其特征在于，所述冷凝水管沿所述冷水储存管的径向延伸，多个所述冷凝水管均布在所述筒体内。4.根据权利要求2所述的半导体废气除湿装置，其特征在于，所述冷凝水管为U形管或螺旋盘管。5.根据权利要求1所述的半导体废气除湿装置，其特征在于，所述变径水洗塔和所述除湿冷凝塔之间设置除湿室，所述除湿室内设...

【专利技术属性】
技术研发人员：李阳，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：