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本实用新型提供一种喷淋组件及半导体清洗设备，涉及晶圆清洗领域。该喷淋组件包括摆臂和喷头，喷头包括转向件，转向件可拆卸式连接于摆臂端部；摆臂设置有第一通道，转向件设置有第三通道，第三通道与第一通道连通；转向件绕摆臂端部的轴线可转动，且能固定于...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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