下载一种提升P型4H-SiC同质外延薄膜生长质量的方法的技术资料

文档序号:39068904

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及功率器件技术领域,具体公开了一种提升P型4H
...
该专利属于浙江芯科半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江芯科半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。