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本发明涉及一种晶圆研磨生产中的虑砂设备，其包括：密封舱，其顶部设置有研磨砂输入口；滤砂机构，设置在密封舱内，位于研磨砂输入口下方，并由驱动机构带动滤砂机构进行转动，以对输入的研磨砂进行高效过滤；研磨砂回收机构，设置在密封舱内，位于滤砂机构的...
该专利属于无锡扣华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡扣华科技有限公司授权不得商用。

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