温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种多托盘式除泡机，包括受压台板和受力扣板，相邻层受压台板之间形成安装空间，每个安装空间内皆设有下层托盘组件和至少一层上层托盘组件，上层托盘组件和下层托盘组件皆包括托盘本体、导向结构、密封圈和驱动件...
该专利属于中电科风华信息装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中电科风华信息装备股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。