多托盘式除泡机制造技术

本发明专利技术涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种多托盘式除泡机，包括受压台板和受力扣板，相邻层受压台板之间形成安装空间，每个安装空间内皆设有下层托盘组件和至少一层上层托盘组件，上层托盘组件和下层托盘组件皆包括托盘本体、导向结构、密封圈和驱动件，上层托盘组件的托盘本体的盘面上开设有通气孔，除泡工作时下层托盘组件的托盘本体支撑于对应安装空间下方受压台板的顶面，充气密封时密封圈密封抵接相邻上方托盘本体底面或对应安装空间上方受压台板的底面。本发明专利技术提供的多托盘式除泡机，能够在相邻两层受压台板之间设置至少两层托盘组件，整个装置的高度较低，重量较轻，大幅降低了制造和运输成本。大幅降低了制造和运输成本。大幅降低了制造和运输成本。

【技术实现步骤摘要】
多托盘式除泡机


[0001]本专利技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种多托盘式除泡机。

技术介绍

[0002]在显示面板的整个加工过程中，除泡是极其重要也是必不可少的一个工序。除泡是利用高温高压将显示面板贴合过程中产生的气泡消除的过程。除泡最常采用的设备即为托盘式除泡机。
[0003]现有托盘式除泡机皆为单托盘式，每层托盘的上下两侧皆设有受压台板，在托盘与上层受压台板之间设有密封圈，密封圈充气后在托盘与上层受压台板之间形成密闭的工作腔。
[0004]现有托盘式除泡机，每层托盘皆需配置两个受压台板，例如需要设置四层托盘时，则总计需配置五个受压台板，受压台板厚度较大，从而导致这种除泡机设备整体高度较高，并且重量也较重，进而导致制造和运输成本也相应较高。

技术实现思路

[0005]为克服现有托盘式除泡机高度较高、重量较大导致制造和运输成本相应较高的技术缺陷，本专利技术提供了一种多托盘式除泡机。
[0006]本专利技术提供的多托盘式除泡机，包括多层沿Z向间隔分布的受压台板，所有受压台板通过两组分别位于受压本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多托盘式除泡机，包括多层沿Z向间隔分布的受压台板（1），所有受压台板（1）通过两组分别位于受压台板（1）X向两侧的受力扣板（2）固定为一体，相邻层受压台板（1）之间形成安装空间（3），其特征在于，每个安装空间（3）内皆设有下层托盘组件（5）和至少一层上层托盘组件（4），所述上层托盘组件（4）和下层托盘组件（5）皆包括：托盘本体（6），其水平布置；导向结构（7），其位于所述托盘本体（6）的X向端部，所述导向结构（7）包括固定轨（71）和移动件（72），所述固定轨（71）沿Y向布置且外伸于所述受压台板（1）的Y向一侧，所述固定轨（71）相对所述受力扣板（2）固定，所述移动件（72）与所述托盘本体（6）连接且仅能沿所述固定轨（71）Y向移动；密封圈（8），其设于所述托盘本体（6）的顶面且沿所述托盘本体（6）的边缘设置；驱动件（9），其适于驱动所述托盘本体（6）沿固定轨（71）Y向运动；所述上层托盘组件（4）的托盘本体（6）的盘面上开设有通气孔（61），除泡工作时所述下层托盘组件（5）的托盘本体（6）支撑于对应安装空间（3）下方受压台板（1）的顶面，充气密封时所述密封圈（8）密封抵接相邻上方托盘本体（6）底面或对应安装空间（3）上方受压台板（1）的底面。2.根据权利要求1所述的多托盘式除泡机，其特征在于，所述下层托盘组件（5）的托盘本体（6）滑动连接在对应移动件（72）上且滑动方向为Z向，所述下层托盘组件（5）还包括：第一限位件（51），其固定于对应移动件（72）上且适于阻挡下层托盘组件（5）的托盘本体（6）向上运动；复位弹性件（52），其压设于对应移动件（72）与下层托盘组件（5）的托盘本体（6）之间且适于驱使下层托盘组件（5）的托盘本体（6）向上运动；自然状态时下层托盘组件（5）的托盘本体（6）在所述复位弹性件（52）的作用下抵接至所述第一限位件（51）。3.根据权利要求2所述的多托盘式除泡机，其特征在于：所述下层托盘组件（5）在X向第一端设有导向结构（7）且在X向第二端设有第一支撑结构（53），所述第一支撑结构（53）包括：第一支撑条板（531），其相对所述受力扣板（2）固定设置；第一轮组（532），其包括第一轮架（5321）和第一轮体（5322），所述第一轮体（5322）转动安装在第一轮架（5321）上，所述第一轮架（5321）滑动连接在下层托盘组件（5）的托盘本体（6）上且滑动方向为Z向，所述第一轮架（5321）与下层托盘组件（5）的托盘本体（6）之间压设有驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡凌骁，周鹏东，张君，杨子侠，段青鹏，申璐青，王毅，梁宇，姜慧慧，张栾栾，赵子龙，刘建功，
申请(专利权)人：中电科风华信息装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：