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本发明公开了一种带冷却功能的分子泵过滤保护装置，涉及分子泵技术领域。本发明包括装置主体，装置主体的右侧设置有管道，还包括防粘附装置、防缠绕装置防堆积装置和防堵装置，防粘附装置设置在装置主体内部，防缠绕装置设置在装置主体底部，防堆积装置设置在...
该专利属于上海富玖帕精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海富玖帕精密设备有限公司授权不得商用。

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