下载MRAM的制备方法的技术资料

文档序号:39059809

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本发明提供一种MRAM的制备方法,包括:提供衬底,衬底上形成有通孔;在通孔上方形成第一底电极薄膜;对第一底电极薄膜进行第一次减薄处理;在第一次减薄后的第一底电极薄膜上方形成介质层薄膜;进行对准标记的光刻和刻蚀;去除介质层薄膜;对第一底电极薄...
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