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本发明属于半导体烘烤设备技术领域，具体地说是一种用于加热板的测温传感器安装结构，包括压紧臂及安装柱，安装柱固定于加热板底面上，压紧臂的一端与安装柱连接、另一端将测温传感器压紧在加热板底面上。本发明通过与加热板连接的安装柱及与安装柱连接的压紧...
该专利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备股份有限公司授权不得商用。

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