一种用于加热板的测温传感器安装结构制造技术

本发明专利技术属于半导体烘烤设备技术领域，具体地说是一种用于加热板的测温传感器安装结构，包括压紧臂及安装柱，安装柱固定于加热板底面上，压紧臂的一端与安装柱连接、另一端将测温传感器压紧在加热板底面上。本发明专利技术通过与加热板连接的安装柱及与安装柱连接的压紧臂的配合设置，可由压紧臂直接将测温传感器稳定压紧于加热板底面上，采用机械结构对传统的铠装型铂电阻传感器的固定稳定性高，也适用于测量较薄物体的工况，能够提高铂电阻传感器测温的稳定性，保证其不会随着使用时间的增加而精度下降甚至失效，且可实现铂电阻传感器的快速安装，更换传感器时也更为容易。更换传感器时也更为容易。更换传感器时也更为容易。

【技术实现步骤摘要】
一种用于加热板的测温传感器安装结构


[0001]本专利技术属于半导体烘烤设备
，具体地说是一种用于加热板的测温传感器安装结构。

技术介绍

[0002]在晶圆的加工制造过程中，烘烤是其中最为频繁与重要的工序。在烘烤的过程中，对于温度的控制尤其严格，这就需要测温传感器反馈的温度非常精准。测温传感器共分为两大类，分别是铂电阻传感器和热电偶传感器，其中铂电阻传感器凭借着极佳的可互换性和稳定性等优点在半导体
应用范围十分广泛。传统的铠装型铂电阻传感器一般需要将整个传感器埋入到被测物体内才能获得准确的温度反馈，但这并不适用于测量较薄物体的工况，尤其是面对深紫外光的前段制程的烘烤工艺过程中，其用于晶圆烘烤的平面加热板通常为厚度较薄的陶瓷加热板，这使得传统的铠装型铂电阻传感器在此工况完全无法使用。另一种方式是将铂电阻传感器直接使用胶粘并经过高温烘烤的方式固定在被测物体表面，但采用这种方式可能出现随着使用的时间增长，胶粘剂持续挥发，容易出现传感器与加热板接触不良，导致测温精度出现偏差，甚至传感器整体脱落，无法实现测温，且出现传感器损坏需要更换时非常繁本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于加热板的测温传感器安装结构，用于将测温传感器安装固定于加热板底面上，其特征在于：包括压紧臂(1)及安装柱(2)，所述安装柱(2)固定于所述加热板底面上，所述压紧臂(1)的一端与所述安装柱(2)连接、另一端将测温传感器压紧在加热板底面上。2.根据权利要求1所述的一种用于加热板的测温传感器安装结构，其特征在于：所述压紧臂(1)的纵向截面形状为L形、并分为水平部分及竖直部分，所述压紧臂(1)的水平部分的一端与所述安装柱(2)连接，所述压紧臂(1)的水平部分的另一端与所述压紧臂(1)的竖直部分的一端连接，所述压紧臂(1)的竖直部分的另一端直接将测温传感器压紧在加热板底面上。3.根据权利要求2所述的一种用于加热板的测温传感器安装结构，其特征在于：所述压紧臂(1)的水平部分的长度长于所述压紧臂(1)的竖直部分。4.根据权利要求1所述的一种用于加热板的测温传感器安装结构，其特征在于：所述加热板的底面上开设有用于对测温传感器限位的限位凹槽。5.根据权利要求1所述的用于加热板的测温传感器安装结...

【专利技术属性】
技术研发人员：李守川，毛绪光，孙元斌，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：