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本发明提供一种冷却时和加热时响应性良好的电子部件的温度控制装置、检查装置以及处理装置。电子部件的温度控制装置具备：冷却循环装置，其具有在压缩机（１）、冷凝器（２）、膨胀器（６）以及蒸发器（７）中循环的致冷剂流路；导热块（９），其具有可与作为...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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