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本申请涉及多晶硅生产技术领域，具体公开了一种硅烷法生产高纯度多晶硅用反应器及其工艺。一种硅烷法生产高纯度多晶硅用反应器，包括反应器本体，反应器本体上设置有进气管和出气管，反应器本体周侧设置有对反应器本体进行冷却的第一冷却组件，反应器本体内设...
该专利属于上海韵申新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海韵申新能源科技有限公司授权不得商用。

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