温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种用于多级干式真空泵的氮气分配模块，包括集成阀块、设置在集成阀块进气通道输入端的单向阀和安装在集成阀块上的减压阀，所述集成阀块内部设置有分流氮气的导气通道，所述集成阀块上设置有用于检测导气通道气压的压力检测组件，所述压力检测组...
该专利属于中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。