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本发明属于半导体加工技术领域,特别的涉及一种基于玻璃基板的焊盘修复方法及修复设备,包括如下步骤:(1)、检测并定位出焊盘缺陷部位;(2)、对缺陷部位进行预处理;(3)、在缺陷部位的周围打印围挡结构,并固化;(4)、在围挡结构内打印修复浆料,...该专利属于芯体素(杭州)科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芯体素(杭州)科技发展有限公司授权不得商用。
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本发明属于半导体加工技术领域,特别的涉及一种基于玻璃基板的焊盘修复方法及修复设备,包括如下步骤:(1)、检测并定位出焊盘缺陷部位;(2)、对缺陷部位进行预处理;(3)、在缺陷部位的周围打印围挡结构,并固化;(4)、在围挡结构内打印修复浆料,...