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本申请实施例公开了一种基底三维位移测量装置、方法和系统，所述装置包括：固定在工件台的基底XY方向位移测量装置和基底Z方向位移测量装置，所述工件台还安装有基底和光学光栅；基底Z方向位移测量装置信号发射端将光栅像投影在基底上，基底Z方向位移测量...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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