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本发明提供了一种调平装置、调平方法和键合设备，所述调平装置包括：解耦单元，设置于所述上压盘的背向所述下压盘的一面上，所述解耦单元用于使得所述上压盘沿着Rx和Ry方向偏转；至少三组垂直调整单元，设置于所述上压盘和所述下压盘的外围，所述垂直调整...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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