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本发明公开了一种纳米颗粒图案化加工方法及设备，包括以下步骤：步骤S1、对基板进行处理，使基板形成带电图案，并根据带电图案确定待加工区域；步骤S2、制备纳米颗粒；其中，所述纳米颗粒的原料包括金属，且所述纳米颗粒的粒径为3～20nm；步骤S3、...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

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