下载芯片堆叠结构清洗方法及清洗设备的技术资料

文档序号:39035781

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本发明涉及一种芯片堆叠结构清洗方法及清洗设备,方法包括:S1、根据所述芯片堆叠结构的缝隙参数,确定所述清洗腔内的工作压力;开启真空泵,抽取清洗腔内的气体,以使所述清洗腔处于负压状态;其中,所述清洗腔内容纳有芯片堆叠结构;S2、在所述清洗腔处...
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