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本发明属于半导体器件技术领域，提出了一种氮化镓单晶电极材料及制备方法和应用。电极材料制备方法包括以下步骤：首先将氮化镓晶圆切割；然后进行清洗、干燥；再于高温管式炉中进行退火，制得多孔氮化镓单晶，该方法简单，高效。所得多孔氮化镓单晶可以直接作...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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