下载半导体芯片的检查用夹具、检查装置及检查方法、半导体装置的制造方法的技术资料

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一种半导体芯片的检查用夹具、检查装置及检查方法、半导体装置的制造方法。检查用夹具需要根据不同设计的承载带的品种而分别设计吸附孔的位置。检查用夹具(10)将具有器件区域和非器件区域的承载带按压到探测器而进行半导体芯片的特性检查,器件区域和非器...
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